半导体气体传感器的敏感体主要是由半导体材料制成的，其中应用为广泛的半导体材料不是常见的硅、锗半导体，而是金属氧化物半导体，在气体传感器领域中应用多的金属氧化物是SnO2，ZnO，Fe2O3，WO3等。

半导体式气体传感器的基本工作原理：就是在一定条件（温度）下，在被测气体到达半

导体表面并与吸附在半导体表面的氧发生化学反应的过程中伴随电荷转移，进一步引起半导体电阻的变化，通过测量半导体电阻的变化就可以实现对气体的检测。它的优点主要是在低浓度气体中输出变化大、灵敏度高，使用寿命长，选择性相对比较好。

它缺点是线形度不好，所以只适合定性测量不适合定量测量。它在较高浓度下几乎饱和，所以只能在浓度很底的情况下测量。另外他对毒性气体的测量能力较差，所以现在的应用范围基本局限在对可燃气体的测量。